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- 概要
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YM Technologyは、産業および研究用途の最高基準を満たす球形真空チャンバーを設計・製造しており、高真空（HV）および超高度真空（UHV）環境に適しています。
球形真空チャンバーは、X線光電子分光法（XPS）、オーガー電子分光法（AES）、接触角測定、原子間力顕微鏡（AFM）などの技術をサポートするさまざまな表面分析装置に一般的に統合されています。
これらのチャンバーには、実験装置への接続、真空計測ゲージ、電気およびモーションフィードスルー、分析機器アクセサリーに対応する various サイズの複数のアクセスポートが装備されています。高度な切削加工と溶接技術により、YM Technologyは8インチから20インチ以上のサイズの球形チャンバーを製造しており、すべての寸法と公差はUHV規格と顧客仕様に厳密に従って作られています。
カスタム真空チャンバーが必要ですか？
YM Technologyは、豊富な経験と専門的なR&Dチームを有し、カスタマイズされた真空チャンバーの設計と製造に特化しています。私たちは顧客の図面や仕様書に基づき、そのユニークなニーズに合わせた高品質な真空チャンバーを作り出します。コスト効率の高いソリューションを提供することにより、すべてのプロジェクトで顧客満足を確保します。
カスタム真空チャンバーまたはその他のYM真空チャンバーコンポーネントに関する詳細情報が必要な場合は、お気軽にご連絡ください。図面をお送りください。私たちはあなたの要件に応じてサポートいたします！
真空チャンバーは、極めて制御された環境を必要とする高精度産業で主に使用されます。例えば、イオンコーティングシステム、高真空半導体装置、および実験室用機器などです。これらのチャンバーは、汚染のない高真空または超高度真空（UHV）環境を維持する必要があるプロセスにおいて重要な役割を果たします。イオンコーティングの応用では、真空チャンバーが優れた均一性と接着性を持つ薄膜の堆積を可能にし、半導体製造ではエッチング、堆積、リソグラフィーなどの繊細なプロセスの信頼性を確保します。さらに、実験室環境では、材料科学、物理学、化学などの分野での実験において、正確な圧力制御と最小限の環境干渉が重要であるため、真空チャンバーは欠かせません。その汎用性と信頼性により、真空チャンバーは先進的な技術や科学研究のアプリケーションにおける基盤となっています。
私たちの利点：
1. お客様の要件に基づいたカスタマイズされた加工と製造を提供します。
2. 一対一の専門的なデザインと図面作成サービス。
3. 指定された真空ポンプシステムを提供可能です。
4. 当社のチャンバ製品は高温と腐食に耐えます。
5. 当社の製品は国際基準を満たしており、高品質と精密さを保証します。
6. 先進の真空溶接技術を使用して組み立てと溶接を行います。
7. 最新の真空漏れ検出装置により、製品性能が確保されます。
一般的な真空チャンバーの技術仕様:
1. 材質: 304ステンレス鋼、316Lステンレス鋼、または顧客指定の材質。
2. 動作温度範囲: -190°Cから+1500°C（高温には水冷が必要）。
3. 密封方法: フッ素ゴムの「O」リングまたは無酸素銅金属シール。
真空チャンバーを注文する必要がある場合は、弊社の専門営業チームに連絡し、次の情報を提供してください:
1. 製品が使用中に発熱するかどうか、具体的な高温および低温、および水または液体窒素冷却が必要かどうか。
2. 特殊な材料要件。真空チャンバーの一般的な材料には、炭素鋼、アルミニウム、304ステンレス鋼、316ステンレス鋼があります。
3. 接続方法、真空吸引方法、および使用される真空ポンプの種類。
4. 真空度の要件と、真空後に保護ガスやその他のガスを導入する必要があるかどうか。
工場での試験手順:
1. 真空漏れ率試験: 標準漏れ率: 1.3×10⁻⁸ Pa・L/s。
2. 水冷圧力試験: 標準試験圧力: 11.6psi、24時間の漏れなし試験。
表面処理:
- 電解研磨
- サンドブラスト
- 酸洗浄
- ミラーポリッシュ。
